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            集成電路用硝酸 - 含量的測定
            來源: KEM China   發布時間: 2022-06-22 07:58   52 次瀏覽   大小:  16px  14px  12px
            T/ICMtia PC008-2021 集成電路用硝酸 - 含量的測定


            T/ICMtia PC008-2021 集成電路用硝酸

            范圍
            本文件規定了集成電路用硝酸的技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存。
            本文件適用于集成電路制造過程中使用的硝酸。
            分子式: HNO3
            相對分子質量: 63.01(按2014年國際相對原子質量)。

            要求
            外觀
            無色透明溶液。
            規格
            集成電路用硝酸的規格分為: IC-1級、IC-2級、IC-3級。
            技術要求
            集成電路用硝酸的技術要求見表1。
            表 1.jpg

            表 1-2.jpg

            表 1-3.jpg

            注: 1、可根據客戶需求定制特殊規格產品。
            ????? 2、1μg/L=1ppb=1000ppt,1μg/kg=1ppb=1000ppt。

            試驗方法
            含量的測定
            試劑和材料
            ——氫氧化鈉溶液,1.00mol/L;
            ——帶蓋PE燒杯。
            儀器
            自動滴定儀。
            樣品制備
            用移液槍或吸量管移取約1.0g(精確至0.0001g)的樣品至預先裝有60g左右水的帶蓋PE燒杯中。
            測定
            按照自動滴定儀操作規程打開儀器,待機器處于穩定狀態時,在自動滴定電腦界面上登入,選擇方法以及樣品質量等信息后點擊“開始”即可。分析結束后記錄數據。
            取平行測定結果的算術平均值為測定結果,兩次平行測定結果的絕對差值不大于0.05%。


            京都電子KEM 自動電位滴定儀 AT-710S
            http://www.hbevergrow.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=994

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